1.真空元件，如閥門、進氣管路、真空泵等相互連接時， 應盡量做到抽氣管路短，管道直徑盡量不低于主泵入口直徑，并且管路中盡量少用彎頭尤其是直角彎頭。這是真空系統使用的一條重要原則。

2.真空系統的結構材料應盡量采用國家標準中的無縫鋼管和板材，并盡量減少焊縫數目，用于焊接的鋼材一般為20 鋼或者Q235-A.F 鋼（A3 鋼）。尤其需要注意的是：接入真空系統的管路應當清理干凈，并且接入的管路壁厚不應當過薄，過薄的管路在粗真空條件下進行抽氣作業時會產生較強的共振。

3.真空系統操作規則:

a. 起動機械泵時，首先要保證轉子運動方向正確，而且油位合乎要求。

b. 油封機械泵停止后，立即將機械泵入口通大氣。因泵內真空會使泵油進入系統中。

c. 盡量不要用機械泵把高真空室直接抽至低于10Pa（0.1Torr）壓強，否則機械泵的油蒸氣會進入高真空室。因為在壓強低于10Pa 時，會出現分子性氣流，油分子將會返流到真空室而造成污染。如果一定要抽到10Pa 以下，則應當設置油分子捕集器。

d. 不應當使機械泵在大氣壓強下或者較高壓強下連續長時間工作，否則電機會過熱，而且泵會噴出油霧。

e. 在擴散泵（或油增壓泵）通大氣之前，應將泵油冷卻到安全溫度，防止高溫下的泵油氧化。

f. 使用電離計時，應當在壓強達到0.1 Pa 以下時再起動電離真空計，以防止電離計燒毀。

g. 高真空系統系統需要停止使用時，盡量將真空室及主泵在真空狀態下封存，以縮短下一次使用時的抽氣時間。

h. 系統冷卻水壓力一般大于1 公斤且小于2.5 公斤，過低的壓力會造成冷卻水流通不暢，過高的壓力會導致漏水或泵水隔套被壓破等故障。泵內的油在添加時一定要使用1#真空油。